风速的控制洁净棚内的气流是左右洁净室性能的重要因素,洁净棚销售,一般洁净室的气流速度是选0.25~0.5m/s之间,此气流速度属微风区域,易受人、机器等的动作而干扰趋于混乱、虽提高风速可抑制此一---之影响而保持洁净度、但因风速的提高,将影响运转成本的增加,所以应在满足要求的洁净度水准之时,能以适当的风速供应,以达到适当的风速供应以达到经济性效果。
另一方面欲达到洁净室洁净度之稳定效果,均一气流之保持亦为一重要因素,无尘洁净棚价格,均一气流若无法保持,洁净棚价格,表示风速有异,---是在壁面,气流会延着壁面发生涡流作用,此时要实现高洁净度事实上很困难。垂直层流式方向要保持均一气流必须:(a)吹出面的风速不可有速度上的差异;(b)地板回风板吸入面之风速不可有速度上的差异。速度过低或过高(0.2m/s,0.7m/s)均有涡流之现象发生,而0.5m/s之速度,气流则较均一,一般洁净室,其风速均取在0.25~0.5m/s之间。
湿度过高产生的问题更多,相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产1佳温度范围为35—45%。
洁净棚配制:
1、框架:以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架 稳固、美观、不生锈、不产尘;
2、防静电垂帘:四周围用防静电垂帘(或钢化玻璃),防静电效果好、透明度高、网格清晰、柔韧度好、不变形、不易老化;
3、风机滤网机组ffu:,采用新加坡pci直驱式离心风机,具有长寿命、低噪声、免维护、震动小、可三档调速等特性,风机---,工作---达50000小时以上;加上---的风道设计,---提高了风机的效率、降低了噪声!内部净化级别可达100-100k级。
4、洁净棚---适用于车间内局部净化级别要求高的区域,合肥洁净棚,如流水线作业区域。
5、模块化结构:提高净化级别容易,扩展性强,且重---用价值高。
6、移动方便(可装万向轮)
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