无尘车间安装-源泰尔洁净室设备

无尘车间静电的危害

　　1、静电库仑力：在静电库仑力的作用下，吸附的粉尘、污物造成元器件增大泄漏或形成短路，使性能受损，成品率和---性---下降。如粉尘粒径>;100μm，铝线宽度约100μm，氧化膜厚度在50μm时，易使产品报废。现在线径更细，氧化膜很薄，粒径很小的尘粒子就会损害元器件，这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。

　　2、静电放电：

　　(1)元器件的绝缘氧化膜被击穿，引线被烧断或线间熔断。若人体带上10kv(100pf)的静电荷，触摸器件脚时发生esd，其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20a(10~100s)，不要说高密度，细线径，薄sio2膜的lsi、vlsi，就是一般ic、mos都会遭受损坏。

　　一般说器件绝缘栅sio2薄膜的耐压场强是e=(5-10)×106v/cm，如果器件sio2膜厚度取1000，其器件输入脚施加50v-100v以上的静电压就将会被击穿，而人体带静电超过50v、100v是极平常的。

　一、无尘车间与静电

　　1、无尘车间：半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医1药都需要洁净的生产车间，通常无尘车间是指空间空气悬浮粒子浓渡被控制在规定界限内的房间或限定空间，这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小，洁净度便越高。

　　无尘车间静电设计

　　2、无尘车间的静电：由于无尘车间的洁净度要求（常规）

　　大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等，这些材料摩擦容易起电带电，不易泄漏释放。地面500v~1000v，扩散间塑料地面500v~1500v，瓷砖地面也有500v~1500v，塑料墙纸700v，塑料顶棚ov~1000v，金属活动皮芏椅面500v~3000v。

人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时，与不同物质设备器材摩擦要产生静电，人、衣服、鞋都会带电。人穿尼龙衣、塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动，人身上带7000v~8000v静电压。在乙烯基地板上行走可带1200v(10%~20%rh)、250v(65%~90%rh)静电压，在地毯上行走可带35000v(10%~20%rh)、1500v(65%~90%rh)，晶片装配线工人穿的工作服可达10kv。